Posicionamiento del sistema de lentes en máquinas de litografía mediante sensores Eddy Current

Los sensores de desplazamiento inductivos sin contacto Eddy Current, basados en corrientes de Foucault, miden la posición de los elementos de la lente para lograr la mayor precisión de imagen posible.

Dependiendo del sistema de lentes, los sensores de desplazamiento Eddy Current se utilizan para detectar movimientos y posiciones hasta 6 grados. Al proporcionar una respuesta de alta frecuencia, los sensores Eddy Current también controlan los movimientos altamente dinámicos del sistema de lentes.